四氢化锗GeH4

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四氢化锗GeH4
 
四氢化锗(Germane),也称为锗烷,是一种化学试剂、可用于制取高纯度锗。分子式为GeH4,分子量为76.63。甲锗烷在较高温度下时分解为锗和氢气。这种对热不稳定性被用于半导体工业中,即有机金属化学气相沉积(MOVPE)。由于甲锗烷毒性较大,某些有机锗化合物(如异丁基锗)可以替代甲锗烷,应用于MOVPE中。
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