概述
Model470是先进的溶解臭氧测量分析仪，为半导体湿法处理和许多其他工业过程设计。它能够提供去离子水或硫酸中浓度高达150mg/L的溶解臭氧测量。470已完成“预备清洁”，能够满足高纯度半导体过程的需求，并且可简单的直接拼接进任何湿法处理的环流回路中，支持150 SLPM的流量。
470型传感器使用双路取样传感技术，达到了无与伦比的性能，且摆脱了对参比液体测量的需求。 通常的安装仅仅包括470传感器和特氟龙7包裹的内部连接电缆。470传感器能够通过模拟或数字信号向湿法处理过程控制台远程报告测量的浓度。
| 产品型号 | Model470 | 生产厂商 | 美国进口 |
|---|---|---|---|
| 测量原理 | 紫外吸收法，双路取样传感技术 | 紫外光源 | 低压汞灯 |
| 测量单位 | ppmw, mg/L | 量 程 | 0-150 mg/L (150 ppmw) |
| 精 度 | 0.5mg/L 或 1%读数 (以较大值为准） | 水流量 | 高达150 SLPM |
| 采样端口 | 1”, 3/4”, 3/8” Flaretek® 连接 | 压强 | 55 PSI |
| 接触材料 | 特氟龙®, 蓝宝石, 与半导体流程相容 | 外壳 | 聚四氟乙烯特氟隆® |
| 尺寸 | 垂直固定(144 x 171 x 82 mm) | 电缆 | 特氟龙®外层 |
| 电源 | +15 VDC | 认证 | CE 认证 |
| 模拟输出 | 4-20mA或0-5VDC，出厂时选择 | 数字输出 | I/O RS-232 或 RS485，出厂时选择 |
| 远程校零 | 通过DB15进行远程零点校准 | 维护 | 紫外灯每24个月替换一次，无其他预定维护 |
